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NUMERIK JENA光栅尺LIK23 vac
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NUMERIK JENA光栅尺LIK23 vac
品 牌:
NUMERIK JENA
型 号:
LIK23 vac
技术资料:
UM_LIK_vac_eng
阅读次数:
1135
产品介绍
LIK系列光栅尺特别适用于安装空间有限的应用。自带2场EPIFLEX读数模块,也适用于恶劣的应用环境。
性能特点
真空版LIK 21,外壳版本1
带EPIFLEX读数模块(2场扫描)
光栅尺部件满足真空度达10 E-9 mbar(UHV)的气压要求
支持150 °C时12小时的加热周期
1 Vpp或RS 422输出信号
多达100倍的细分信号
最小测量步距仅50 nm
运动速度达10 m/s(1 Vpp)
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