SP120 系列的可靠性和性能自 1989 年以来,一直深受行业客户的信赖。该系列除采用全焊接结构外,还采用了全不锈钢传感器。SP120 系列采用 Wasco 专有的制造方法,消除了所有泄漏路径。该系列是处理腐蚀性介质的选择,精度高,公差小。我们为半导体设备等高纯度应用设计了这些开关。SP120 系列不含任何弹性体或 O 形圈。根据 SEMI F1 标准,所有开关的氦气泄漏测试值均为≤ 1 x 10-9 std cc/sec。
为半导体设备等高纯度应用设计
不含任何弹性体或 O 形圈
符合SEMI F1 标准
经过氦气泄漏测试
氦气泄漏量 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec
SP120-3 Max系统压力:30 PSIG
SP120-5 Max系统压力125 PSIG
SP120-8 Max系统压力:250 PSIG
SP120-15 Max系统压力:500 PSIG
可提供其他配置外螺纹端面密封和飞线
可提供其他配置外壳
可提供其他压力范围
产地:美国
Max系统压力:30 PSIG
设定点范围:1 - 30 PSIG
设定点公差:± 0.7 PSI
复位范围:0.7 - 2.3 PSI
润湿元件接头:316L SS
膜片:17-7PH SS
使用寿命:≥ 1,000,000 次
防护等级:IP 65
泄漏率:≤ 1 x 10-9 std cc/sec
工作温度:-65至 225 °F;-54 至 107 ℃
端面密封:1/4 " 外螺纹
外壳:9 针
气箱、臭氧系统、气体分配系统、半导体设备