赛力斯自动化科技有限公司

自 1989 年以来，业界客户一直信赖 SV120 系列产品的可靠性和性能。该系列除采用全焊接结构外，还采用了全不锈钢传感器。SV120 系列采用 Wasco 专有的制造方法，消除了所有泄漏途径。该系列是处理腐蚀性介质的选择，精度高，公差小。我们为半导体设备等高纯度应用设计了这些开关。SV120 系列不含任何弹性体或 O 形圈。根据 SEMI F1 标准，所有开关的氦气泄漏测试值均为≤ 1 x 10^-9 std cc/sec。

为半导体设备等高纯度应用设计

不含任何弹性体或 O 形圈

符合SEMI F1 标准

氦气泄漏测试值均为≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

SV120-3 设定点范围：1.6 - 25.0 inHg

SV120-5 设定点范围：6.0 - 29.5 inHg

可提供其他配置带 1/4" 面密封和飞线

可提供其他配置带 KF25 接头和 9 针

产地：美国

Max系统压力：30.0 inHg

设定点范围：1.6 - 25.0 inHg

设定点公差：± 1.2 inHg

典型复位带：1.0 - 4.6 inHg

润湿元件 接头：316L SS

膜片：17-7PH SS

使用寿命：≥ 1,000,000 次

防护等级：IP 65

泄漏率：≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

工作温度：-65 至 225 °F；-54 至 107 °C

气箱、臭氧系统、气体分配系统、半导体设备