UHP150 系列自 1989 年以来,具有客户一直信赖的可靠性和性能。该系列除采用全焊接结构外,还采用了全不锈钢传感器。UHP150 系列采用 Wasco 专有的制造方法,消除了所有泄漏途径。该系列是处理腐蚀性介质的选择,精度高,公差小。我们设计的 UHP150 系列适用于半导体设备等高纯度应用。UHP150 系列不含任何弹性体或 O 形圈。根据 SEMI F1 标准,所有开关的氦气泄漏测试均达到 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec。UHP150 系列在 100 级洁净室中制造和包装。
为超 高纯应用(如半导体设备)设计
符合标准 SEMI F1
所有开关的氦气泄漏测试均达到 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec
在 100 级洁净室内制造和包装
UHP150-3 Max系统压力:30 PSIG
UHP150-5 Max系统压力:125 PSIG
UHP150-8 Max系统压力:250 PSIG
UHP150-15 Max系统压力:500 PSIG
可提供其他压力范围
可提供其他配置表面安装
可提供其他配置外螺纹端面密封
产地:美国
Max系统压力:30 PSIG
设定点范围:1.0-30 PSIG
设定点公差:± 0.7 PSI
复位范围:0.7-2.3 PSI
接头:316L SS
膜片:17-7PH SS
使用寿命:≥ 1,000,000 次
防护等级:IP 65
泄漏率:≤ 1 x 10-9 std cc/sec
工作温度:-65至 225 °F;-54 至 107 ℃
表面贴装:IGS
端面密封:1/4 " 外螺纹
气箱、臭氧系统、气体分配系统、半导体设备、气体过滤系统