COHERENT准分子激光器TriVYPER

VYPER 系列激光器是专为准分子激光退火 (ELA) 设计的多光束高功率准分子激光器。高分辨率移动显示器制造的高质量需求需要高品位低温多晶硅 (LTPS)，该多晶硅 (LTPS) 只能使用准分子激光器制造。

这些激光器非常适合高功率 LineBeam 750 (VYPER)、LineBeam 1000 (TwinVYPER) 和 LineBeam 1500 (TriVYPER) 光学器件。

• 非常高的UV 功率，可实现高通量应用
• 能量稳定性，确保高产量
• EquiSwitch 同步提供低的抖动
• 激光数据采集可实现过程控制
• 密封和净化的光束路径，可实现稳定的长期运行
• 用于控制和快速数据采集的以太网接口

准分子激光退火

脉冲激光沉积