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COHERENT准分子激光器VarioLas Pro

COHERENT准分子激光器VarioLas Pro

产品介绍

基于强大的 COMPex 准分子激光器的系统是用于具有线光束或方形光束场形状的高质量 UV 微加工的灵活工具。

光学设计、坚固的机械结构和具有脉冲间稳定性的准分子激光器可提供非常准确的结果。应用包括激光剥离 (LLO) 分离、掺杂剂离子激活、烧蚀图案化和薄膜退火。

性能特点

  • 高分辨率光学和机械结构确保可重复的结果
  • 模块化设计，提供灵活使用的定制选项
  • 方光束和线光束场以获得更优的结果
  • 支持所有 COMPex 激光器型号以实现有效率的加工

技术参数

产品尺寸

产品应用

激光剥离分离

掺杂离子激活

烧蚀图案

准分子激光退火

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