赛力斯自动化科技有限公司

极紫外光(EUV)阿秒多层反射镜设计用于阿秒脉冲的转向、聚焦和整形。他们的多层膜中心位于65eV（19nm），带宽为6eV（1.8nm），为 S 偏振光提供38%的峰值反射率。这些反射镜支持持续时间为330阿秒的极紫外（EUV）脉冲。 UFI极紫外（EUV）阿秒反射镜是基于高次谐波（HHG）、自由电子激光器（FEL）或其他量子光学应用产生和整形阿秒脉冲的理想选择。可提供直径为25.4mm的平面反射镜和凹面反射镜；如果您的应用需要定制中心能量、带宽或其他规格的极紫外（EUV）多层反射镜，请与我们联系。

• 设计用于65eV（19nm）下的 330 阿秒脉冲
• 具有38%峰值反射率的多层镀膜
• ≤1Å 表面粗糙度超抛光基底
• 另外提供专为5nm 设计的极紫外（EUV）平面反射镜 和 极紫外（EUV）球面反射镜

直径 (mm):25.40 ±0.13

基底: 熔融石英(Corning 7980)

表面质量:10-5 (基质)

涂层规格:Rs > 38% @ 65eV/19nm

涂层: 多层EUV (19nm)

入射角 (°):5

有效孔径 (%):80设计波长 DWL (nm):19

边缘: 精细研磨

表面粗糙度（埃）:<1

中心能源(eV):65 ±2

带宽 (eV):6

支持的脉冲持续时间:330阿秒

边缘厚度 ET (mm):6.35 ±0.20

有效焦距 EFL (mm):500.00

半径 R1 (mm):1000.00