赛力斯自动化科技有限公司

Kit L系列直线光栅尺特别设计用于个性化的应用。该系列产品不仅拥有极小的尺寸，更提供配置能力。该系列产品几乎不限制设计师的设计自由。

• 特殊真空版的Kit L2带EPIFLEX读数模块（2场扫描）
• 带EPIFLEX读数模块（2场扫描）
• 光栅尺部件满足真空度达10 E-6 mbar（UHV）的气压要求
• 1 Vpp或RS 422输出信号
• 多达100倍的细分信号
• 最小测量步距仅50 nm
• 运动速度达10 m/s（1 Vpp）

Kit L2 vac

Kit L4 vac