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品牌简介

KLA - TENCOR
KLA-Tencor公司为专业美资半导体(芯片)设备供货商,公司总部在美国硅谷,拥有 6000 多名员工,自1976年成立以来不断致力于产品研究与发展,客户提供更完善更人性化服务,并协助半导体(芯片)厂商创造高品质、高效率的产品,目前分公司遍布美洲、欧洲、亚洲等国家。KLA-Tencor 始终致力于帮助其客户降低运营成本并增加收益,并已经成为其坚定不移的长期合作伙伴。
KLA-Tencor主要产品:
CS20光学表面分析仪
WaferSight PWG 已图案晶圆几何形状测量系统
LMS IPRO6 光罩图案位置测量系统
K-T Analyzer 9.0 先进数据分析系统
2920 系列宽波等离子图案晶圆缺陷检测系统
Puma 9850 激光扫描图案晶圆缺陷检测系统
Surfscan SP5 无图案晶圆缺陷
Teron  SL650 光罩检测系统
处理450mm硅片的Surfscan SP3系统

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